カテゴリー別アーカイブ: MEMS

「エルピーダ倒産、円高のせいではない」中央大・竹内健氏@ナノ・マイクロビジネス展記念講演会

「ナノ・マイクロビジネス展/ROBOTECH 記念講演会」が、2013年1月23日、ホテル グランドパレス(東京)で開催された。ナノ・マイクロビジネス展は、これまでのMEMS分野の技術展示会「マイクロマシン/MEMS展」を改称したもの。2013年7月3~5日の3日間、東京ビッグサイトで開催される。ナノレベルまで進化した微細加工技術とその応用分野をビジネスに直結させることをめざすという。

バークレー研究所ら、人工筋肉などへ応用可能なマイクロアクチュエータ開発。二酸化バナジウムの構造相変化を利用

米ローレンス・バークレー国立研究所とカリフォルニア大学バークレー校の研究チームが、二酸化バナジウムを利用したマイクロアクチュエータを開発した。髪の毛より細いサイズのアクチュエータが指を曲げて「おいでおいで」するような動画が公開されている。圧電材料を用いた従来のアクチュエータより大きな動きを実現でき、ヒトの筋細胞の1000倍程度という強い力を出せるという。マイクロ流体、薬物送達、人工筋肉などへの応用が期待される。

NIST、AFM用の光学機械センサ開発。生体から固体まで幅広い試料を高感度測定

米国立標準技術研究所(NIST)が、原子間力顕微鏡(AFM)用の光学機械センサを開発している。AFMの感度を損なわずにカンチレバーのバネ定数を変えられるため、低バネ定数による生体試料の観察から高バネ定数での固体試料の高分解能測定まで、幅広い用途に高感度AFMが適用できようになるという。

アペックス、三次元デバイス向けに赤外線干渉方式の光学測定装置を販売開始

半導体製造装置などの開発・製造・販売を手がけるアペックスが、仏FOGALE nanotech製の検査測定装置「T-Map」の国内販売を開始している。同装置は、赤外線干渉または白色光の色収差を利用してデバイスの表面形状や膜厚、深さなどの測定を非破壊で行うもの。シリコン貫通電極(TSV)形成プロセスや三次元積層プロセスなどで必要とされるデバイス測定に適しており、ベルギーIMECでは、三次元デバイス検査の標準装置として採用されている。

グリーンセンサ・ネットワークの開発動向。センサ集積化技術や有機ナノファイバーによる高効率自立電源など

2011~2014年度のNEDO共同研究事業「グリーンセンサ・ネットワークシステム技術開発プロジェクト」が発足から1年を迎えた。技術研究組合NMEMS技術研究機構によるこれまでの成果が「第23回マイクロマシン/MEMS展」にて公開されている。

MEMS 2012 特設ページ

第23回マイクロマシン/MEMS展が、2012年7月11~13日の3日間、東京ビッグサイトで開催される。SJNでは、これに合わせてMEMS分野の有力企業、研究機関を取材。デバイス、プロセス技術から、製造装置、材料、検査測定、設計・解析ソフトまで、MEMSに関わる技術の最新動向をまとめた。

みずほ情報総研、解析技術でMEMS設計開発を支援

みずほ情報総研 サイエンスソリューション部では、半導体・MEMS、生命科学、エネルギー・原子力、デジタルエンジニアリング、環境資源開発、基盤技術・ツール群といった領域で、先端科学技術の研究開発を支援する解析ソフト、解析サービスの提供を行っている。本稿では、サイエンスソリューション部エレクトロニクスチーム 浅海和雄氏への取材を基に、同社が提供しているMEMS設計開発支援ソリューションの概要をまとめる。

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