MEMS 2012 特設ページ

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第23回マイクロマシン/MEMS展」が、2012年7月11~13日の3日間、東京ビッグサイトで開催される。SJNでは、これに合わせてMEMS分野の有力企業、研究機関を取材。デバイス、プロセス技術から、製造装置、材料、検査測定、設計・解析ソフトまで、MEMSに関わる技術の最新動向をまとめた。


■ 産総研、センサ・ネットワークで低炭素・安心安全な社会めざす



■ 東大・竹内研、細胞やDNAの働きを利用した高性能バイオセンサ開発



■ ST、MEMS技術をバイオ・医療・健康分野に展開



■ アルバック、TSV形成などで高い技術力。MEMSファンドリー事業とプロセス開発動向



■ EVG 薄化ウェハーに対応した接合・アライメント技術を展開



■ 田中貴金属工業、金・銀などの材料特性を生かした接合技術を追求



■ 日本電子、手軽で高画質なタッチパネル型卓上SEMを製品化。MEMSにも適合



■ みずほ情報総研、解析技術でMEMS設計開発を支援



■ マイクロマシン/MEMS展、講演プログラムのみどころ


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