カテゴリー別アーカイブ: 装置・計測

ワッティー、研究開発用途向けに新しいALD成膜装置を開発

ALD成膜装置(ワッティー)

ワッティーは、研究開発用途向けに新しいALD成膜装置を開発した。ALD(Atomic Layer Deposition:原子層堆積)は、原子1個分という極めて薄い膜を緻密に形成できる成膜プロセス。最先端の半導体デバイス製造で使われている他、最近ではガスを透過させないバリアシートや、微粒子へのコーティング技術など、様々な分野でALDが利用されるようになってきている。

東工大、半導体中を秒速8万mで動きまわる電子を動画撮影

東京工業大学の研究チームが、半導体中を秒速8万mで流れる電子を直接観察し、動画撮影することに成功した。新規レーザーパルス光源と光電子顕微鏡を組み合わせ、電子を20nmおよび200フェムト秒(1フェムト秒は1000兆分の1秒)スケールで可視化できる超高速ストロボ顕微鏡を開発して実現した。

産総研ら、単層CNTの量産技術を開発。従来比100倍の製造スピード

産業技術総合研究所(産総研)ナノチューブ応用研究センター 流動気相成長CNTチーム 研究チーム長の斎藤毅氏らが、名城ナノカーボンと共同で単層カーボンナノチューブ(CNT)の工業生産プラントを開発し、量産性を実証した。これまで名城ナノカーボンで製造販売してきた高品質CNTに比べて、100倍のスピードで製造できるという。

EPFL、温度差から磁場が生じる「磁気ゼーベック効果」を実証

スイス連邦工科大学ローザンヌ校(EPFL)の研究チームが、絶縁体の温度差から磁場が生じる「磁気ゼーベック効果」の証拠を実験的に確かめた。導体の温度差から電流が生じるゼーベック効果に似た現象だが、これまで存在が確認されていなかった。磁気トンネル効果トランジスタなど、スピントロニクスデバイスの開発にも応用できる可能性があるという。

東大ら、マルチフェロイック材料の電磁気構造を原子分解能で評価する技術。新規圧電材料の開発に応用期待

東京大学の幾原雄一教授、柴田直哉准教授、松元隆夫特任研究員らのグループが、物質・材料研究機構(NIMS)および豪州ウーロンゴン大学と共同で、球面収差補正走査透過型電子顕微鏡を用いて、マルチフェロイック材料の強誘電性ドメインをサブオングストローム(0.1nm以下)の空間分解能で精密に評価する技術を確立した。材料の原子構造だけでなく、電磁気構造に関しても原子分解能で直接評価することが可能になる。新規圧電材料の開発に不可欠な評価技術としても役立つことが期待される。

バークレー研究所、グラフェン液体セルとTEMを使ってDNAの3次元動態を動画化

米ローレンス・バークレー国立研究所の研究グループが、グラフェン液体セルと透過電子顕微鏡(TEM)を使ってDNAの3次元的な動きを動画撮影することに成功した。平面的な乾燥試料の観察に使われる既存のTEMとは異なり、ソフトマテリアルの3次元動態をTEMで捉えた初めての例であるという。生体巨大分子や人工ナノ構造体などの3次元動態についての研究が進むと期待される。

北大、光学顕微鏡の測定限界を超えた「量子もつれ顕微鏡」を開発。生物・医学への応用期待

北海道大学電子科学研究所が、量子もつれ状態の光を用いて、光学顕微鏡の標準量子限界を超えた感度をもつ「量子もつれ顕微鏡」を世界で初めて実現した。生体細胞などをより高精度で観測することが可能になり、生物学、医学など幅広い分野への応用が期待される。

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